真空システム（しんくうシステム、）とは、対象となる空間の気体を排気し、大気圧より低い圧力の環境を作り出して維持するための装置・機器の組み合わせの総称である。研究用の超高真空装置から大型真空装置、産業用の各種生産装置まで、幅広い分野で用いられている。
概要 真空技術は半導体デバイス製造やナノテクノロジーなど、多くの研究開発や産業を支える基盤技術である。真空システムは一般に、真空容器（チャンバー）、真空ポンプ、真空計、バルブ・配管、シール材などから構成される。
真空ポンプ 真空ポンプは、気体を系外へ排出するか、ポンプ内部に捕捉するかによって分類される。
気体輸送式（開放型） 容積輸送式 - 容積の変化を利用して気体を排出する方式。 運動量輸送式 - 気体分子に運動量を与えて排気側へ送る方式（ターボ分子ポンプなど）。 気体ため込み式（非開放型） - 気体をポンプ内に捕捉する方式（ゲッターポンプ、イオンポンプなど）。
実際の装置では、複数のポンプを組み合わせて段階的に排気する構成が多く採られる。
真空計 圧力の範囲に応じて、全圧真空計や、質量分析計を用いた分圧真空計などが使い分けられる。
用途
薄膜形成 - 蒸着やスパッタリングの成膜装置。 半導体製造 - 成膜やエッチングなどの工程。 研究開発 - 実験研究用の超高真空装置など。
脚注
関連項目
真空 真空ポンプ 真空計 蒸着