Епітаксія у мінералогії — закономірне зростання різних мінералів, в яких хоч деякі кристалографічні елементи паралельні. Епітаксія у технології виробництва напівпровідникових приладів та інтегральних схем, напівпровідникових лазерів, елементів пам'яті — процес нарощування монокристалічних шарів речовини на підкладку (кристал), при якому кристалографічна орієнтація нарощуваного шару повторює кристалографічну орієнтацію підкладки.