po raz pierwszy orzekł o niekonstytucyjności aktu prawnego (Judiciary Act z 1789), tym samym ustalając system wzajemnej kontroli pomiędzy podstawowymi organami władzy w Stanach Zjednoczonych.
W wieku XX w okresie międzywojennym, pod wpływem konstytucyjnych idei Hansa Kelsena, w Europie powstały pierwsze sądy konstytucyjne – wyodrębnione organy sądowe, którym powierzono kontrolę konstytucyjności prawa. Pierwszymi krajami, które powołały takie sądy, były Austria i Czechosłowacja. Po II wojnie światowej nadeszły trzy fale demokratycznych przemian ustrojowych, które wiązały się z rozprzestrzenieniem instytucji kontroli konstytucyjności prawa. Po 1945 wprowadzono ją w wielu krajach zachodnioeuropejskich, w latach 60. i 70. w krajach powstałych w wyniku dekolonizacji, a po 1989 w demokratyzujących się krajach z dawnego bloku wschodniego. Na początku XXI w. instytucja ta stała się powszechna i w 2003 r. istniała w 85% państw.