thumb|150px|Электронны мікраскоп Siemens Elmiskop 1A
Электро́нны мікраско́п (ЭМ) — вакуумная электронна-аптычная прылада для атрымання павялічанага відарыса аб’екта, у якой замест светлавых прамянёў выкарыстоўваецца пучок электронаў, паскораных да высокіх энергій.Аляхновіч, М. М. Электронны мікраскоп / М. М. Аляхновіч // Беларуская энцыклапедыя: У 18 т. Т. 18. Кн. 1: Дадатак: Шчытнікі — Яя / Рэдкал.: Г. П. Пашкоў і інш. — Мн. : БелЭн, 2004. — Т. 18. Кн. 1. — С. 100. — 472 с. — 10 000 экз. — ISBN 985-11-0035-8. — ISBN 985-11-0295-4 (т. 18. Кн. 1). Прынцып дзеяння электроннага мікраскопа заснаваны на законах электроннай і іоннай оптыкі.
Дзякуючы малой даўжыні хвалі электронаў электронныя мікраскопы маюць значна большую раздзяляльную здольнасць, чым аптычныя мікраскопы. Яна можа дасягаць 0,1 нм, што дазваляе даследаваць атамную і малекулярную структуру аб’ектаў.
Гісторыя Распрацоўка электроннага мікраскопа звязана з развіццём электроннай оптыкі ў 1920—1930-я гады. У 1931 годзе Макс Кноль і Эрнст Руска стварылі ранні двухлінзавы электронна-аптычны прыбор, а ў 1933 годзе Руска пабудаваў электронны мікраскоп, які ўжо пераўзыходзіў светлавы мікраскоп па раздзяляльнай здольнасці.Electron microscope // Encyclopaedia Britannica. Праверана 30 красавіка 2026. У 1986 годзе Эрнст Руска атрымаў палову Нобелеўскай прэміі па фізіцы «за фундаментальныя працы па электроннай оптыцы і за стварэнне першага электроннага мікраскопа».The Nobel Prize in Physics 1986 // NobelPrize.org. Праверана 30 красавіка 2026.
Прынцып працы
У электронным мікраскопе крыніца электронаў стварае пучок, які паскараецца ў электрычным полі і накіроўваецца на даследаваны аб’ект. Ролю лінзаў выконваюць электронна-аптычныя сістэмы, якія факусіруюць і пераўтвараюць пучок. Відарыс утвараецца ў выніку ўзаемадзеяння электронаў з аб’ектам і рэгіструецца на экране, фотапласцінцы або іншай прыёмнай сістэме.Transmission electron microscope // Encyclopaedia Britannica. Праверана 30 красавіка 2026.
У прасвечвальным электронным мікраскопе відарыс ствараецца электронамі, якія прайшлі праз узор. У растравым электронным мікраскопе вузкі электронны прамень-зонд паслядоўна сканіруе паверхню аб’екта; атрыманыя сігналы выкарыстоўваюцца для пабудовы відарыса паверхні.Electron Microscopy // Royal Microscopical Society. Праверана 30 красавіка 2026.
Віды Паводле характару даследавання аб’екта адрозніваюць некалькі відаў электронных мікраскопаў:
прасвечвальныя — утвараюць відарыс электронамі, якія прайшлі праз даследаваны аб’ект; адбівальныя — выкарыстоўваюць рассеяныя або адбітыя электроны; растравыя — сканіруюць паверхню тонкім сфакусаваным электронным променем; эмісійныя — выкарыстоўваюць электроны, якія выпраменьвае сам аб’ект пры награванні, асвятленні, бамбардзіроўцы электронамі або іонамі; ценявыя — ствараюць ценявы відарыс аб’екта на аддаленым экране або фотапласцінцы; люстраныя — выкарыстоўваюцца для вывучэння размеркавання электрычнага патэнцыялу паблізу паверхні ўзору.
Найбольш вядомымі ў сучаснай навуковай практыцы з’яўляюцца прасвечвальныя і растравыя электронныя мікраскопы, якія шырока выкарыстоўваюцца ў матэрыялазнаўстве, біялогіі, медыцыне, фізіцы цвёрдага цела і мікраэлектроніцы.
Аб’екты даследавання Электронная мікраскапія прымяняецца найперш для даследавання цвёрдых цел. Парашкі, мікракрышталі, аэразолі і іншыя дробныя аб’екты наносяць на тонкую або масіўную падложку ў залежнасці ад тыпу мікраскопа. Вадкія і газападобныя аб’екты даследуюць з дапамогай спецыяльных мікракамер — прыставак да прасвечвальных электронных мікраскопаў.Аляхновіч, М. М. Электронная мікраскапія / М. М. Аляхновіч // Беларуская энцыклапедыя: У 18 т. Т. 18. Кн. 1: Дадатак: Шчытнікі — Яя / Рэдкал.: Г. П. Пашкоў і інш. — Мн. : БелЭн, 2004. — Т. 18. Кн. 1. — С. 100. — 472 с. — 10 000 экз. — ISBN 985-11-0035-8. — ISBN 985-11-0295-4 (т. 18. Кн. 1).
Выкарыстанне Электронныя мікраскопы выкарыстоўваюцца ў навуковых даследаваннях і тэхналогіях, дзе патрэбна вывучэнне структуры рэчыва на вельмі малых маштабах. З іх дапамогай даследуюць мікраструктуру цел, лакальны састаў матэрыялаў, паверхневыя асаблівасці ўзораў, а таксама лакалізаваныя электрычныя і магнітныя палі.
У тэхнічных мэтах электронныя мікраскопы ўжываюцца, між іншым, пры вырабе мікрасхем метадам электроналітаграфіі, для кантролю ў мікраэлектроніцы і паўправадніковай тэхніцы.
Гл. таксама
Мікраскоп Мікраэлектроніка Паўправаднік
Зноскі
Літаратура
Аляхновіч, М. М. Электронны мікраскоп / М. М. Аляхновіч // Беларуская энцыклапедыя: У 18 т. Т. 18. Кн. 1: Дадатак: Шчытнікі — Яя / Рэдкал.: Г. П. Пашкоў і інш. — Мн. : БелЭн, 2004. — Т. 18. Кн. 1. — С. 100. — 472 с. — 10 000 экз. — ISBN 985-11-0035-8. — ISBN 985-11-0295-4 (т. 18. Кн. 1). Аляхновіч, М. М. Электронная мікраскапія / М. М. Аляхновіч // Беларуская энцыклапедыя: У 18 т. Т. 18. Кн. 1: Дадатак: Шчытнікі — Яя / Рэдкал.: Г. П. Пашкоў і інш. — Мн. : БелЭн, 2004. — Т. 18. Кн. 1. — С. 100. — 472 с. — 10 000 экз. — ISBN 985-11-0035-8. — ISBN 985-11-0295-4 (т. 18. Кн. 1).
Спасылкі
Электронныя мікраскопы на Вікісховішчы Відарысы, атрыманыя з дапамогай электронных мікраскопаў на Вікісховішчы
Катэгорыя:Оптыка Катэгорыя:Мікраскопы Катэгорыя:Электронная оптыка